需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
蒸發(fā)鍍膜般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜
使用步驟
電控柜操作
1. 開水泵、氣源。
2. 開總電源。
3. 開維持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔位置V1位置,等待其值小于10后,再入下步操作。約需5分鐘。
4. 開機(jī)械泵、預(yù)抽,開渦輪分子泵電源、并啟動,真空計(jì)開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)預(yù)抽,開前泵和真空閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)定程度后才能開右邊的真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能打開電子槍電源。
操作
1. 總電源。
2. 同時(shí)開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開關(guān),延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮,三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅,若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障,保護(hù)燈會常亮。
3. 開壓,壓會達(dá)到10KV以上,調(diào)節(jié)束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。
關(guān)機(jī)順序
1. 關(guān)真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時(shí),依次關(guān)閥、前、機(jī)械泵,這期間約需40分鐘。
3. 到50以下時(shí),再關(guān)維持泵。
適用范圍
1.建筑五金:衛(wèi)浴五金(如水龍頭).門鎖.門拉手.衛(wèi)浴、五金合葉、家具等。
2.制表業(yè):可用于表殼.表帶的鍍膜、水晶制品。
3.其它小五金:皮革五金.不銹鋼餐具.眼鏡框、刀具、模具等.
4.大型件:汽車輪轂、不銹鋼板.招.雕塑等。
5、不銹鋼管和板(各種類型表面)
6、家具、燈具、賓館用具。
7、鎖具、拉手、衛(wèi)浴五金、爾夫頭、不銹鋼餐具、器皿等五金制品鍍硬裝飾膜。
8、手表、表帶、眼鏡、飾等裝飾品鍍耐磨裝飾(金銀)納米膜和納米膜和納米疊層膜