中瑞祥KDY-1B便攜式電阻測試儀便攜式電阻率儀測試儀結構及原理
便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導體材料電阻率的國際及國家標準測試方法有關規(guī)定設計。
它主要由電器測量部份(主機)及四探頭組成,需要時可加配測試架。
為減小體積,本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供,隨時可進行校準,以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1~100Ω·cm標準樣片的測量誤差不超過±5%,在此范圍內達到國家標準二級機的水平。
2、測試儀結構及原理
測試主機由主機板、前面板、后背板及機箱組成,數(shù)字表、測試電流換檔開關、電阻率/方阻轉換開關、校準/測量變換開關以及電流調節(jié)電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關、保險管及四探針連接插座。機箱底板上字裝了主機板。前后面板與主機板之間的聯(lián)接均采用接插件,便于拆卸維修。
技術參數(shù):
測量范圍:
可測量電阻率:0.1~1999Ω·cm。
可測方塊電阻: 1~19990Ω/□
當被測材料電阻率≥1999Ω·cm數(shù)字表顯示0.00。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.01mA~1mA分兩檔
0.1mA量程:0.01~1mA 連續(xù)可調
1mA量程:0.1mA ~1mA連續(xù)可調
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1%
(1) 直流數(shù)字電壓表
測量范圍:0~199.9mv
靈敏度:100μv
準確度:0.2%(±2個字)
(2) 供電電源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(3) 使用環(huán)境:
相對濕度≤80%
(4) 重量、體積
重量:2.2 公斤
體積:寬210×高100×深240(mm)